การตรวจสอบภายในภาคราชการ เริ่มมาตั้งแต่ปี พ.ศ. 2505 โดยระเบียบการเบิกจ่ายเงินจากคลัง พ.ศ. 2505 ได้กำหนดให้หัวหน้าส่วนราชการแต่งตั้งผู้ตรวจสอบภายในในหน่วยงาน 1 คนหรือหลายคน รับผิดชอบในการตรวจสอบการเบิกจ่ายรวมทั้งการก่อหนี้ผูกพันงบประมาณรายจ่ายของเจ้าของงบประมาณนั้นๆ และตรวจสอบงานด้านอื่นๆ ตามที่หัวหน้าส่วนราชการมอบหมายเป็นการภายใน และรายงานผลการตรวจสอบโดยตรงต่อหัวหน้าส่วนราชการ และต่อมาในปี พ.ศ. 2516 ข้อกำหนดเกี่ยวกับงานตรวจสอบภายในได้ถูกนำไปกำหนดไว้ในระเบียบ การรับจ่าย การเก็บเงิน และการนำส่งเงินของส่วนราชการ พ.ศ. 2516 แทน โดยกำหนดให้หัวหน้าส่วนราชการหรือผู้ว่าราชการจังหวัดแต่งตั้งข้าราชการซึ่งไม่ต่ำกว่าชั้นตรี อย่างน้อย 2 คน เป็นกรรมการตรวจสอบการเงินประจำเดือนทุกเดือน และมีการแก้ไขปรับปรุงในปี พ.ศ. 2520 โดยเปลี่ยนแปลงหลักเกณฑ์การแต่งตั้งผู้ตรวจสอบภายในจากเดิมที่กำหนดให้ทำงานในลักษณะของคณะกรรมการตรวจสอบการเงินแต่งตั้งข้าราชการอย่างน้อย 1 คน เป็นผู้ตรวจสอบภายในของส่วนราชการนั้น หรือของส่วนราชการในส่วนภูมิภาคในจังหวัดนั้น แล้วแต่กรณี